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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:NexView Optical Profiler

  • 產(chǎn)品型號:NexView Optical Profiler3D光學表面輪廓儀
  • 產(chǎn)品廠商:美國ZYGO
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
3D光學表面輪廓儀NexView Optical Profile,無論視場范圍多大均可以達到亞納米級的測量精度。可以測量平面度、粗糙度、大的臺階、薄膜和陡坡等
詳情介紹:

Nexview?3D光學表面輪廓儀

NexView 3D光學表面輪廓儀擅長測量各種表面的微觀形貌,從超光滑到非常粗糙的表面,都能準確計量。無論視場范圍多大均可以達到亞納米級的測量精度。可以測量平面度、粗糙度、大的臺階、薄膜和陡坡等。測試范圍從小于1納米到20000微米。


SiC鏡面:可以很清晰的看到結(jié)晶特征和拋光痕跡


Mx軟件界面(點擊圖像放大)


120度的錐角


單點金剛石切削面


自動200mm集成測量臺

? 超強的測試范圍
可以測試所有類型的表面,從粗糙到超光滑,包括薄膜、陡坡、和大臺階。

? 計量能力體現(xiàn)
優(yōu)越的精度和重復性能夠滿足*嚴苛的測試需求

? 抗震技術(shù)
幾乎可以在任何環(huán)境下都能正常工作

? ISO 25178 表面測量國際標準

? 全新版面的工作流程軟件
功能更強大,操作更簡便易學

? 流線型設計
無需手動操作,全自動化控制

需要的唯壹的輪廓儀

你不再需要根據(jù)你要測量的表面類型來選擇一臺輪廓儀。NexView輪廓儀幾乎可以測量任何表面的形貌,從亞埃級的超光滑表面,到高達85度的大坡度機械件,全部采用3D、非接觸式測量,克服了其它測量技術(shù)(探針式、共聚焦、聚焦掃描)的缺點,提供了*好的計量檢測方案

全新的分析和控制軟件

NexView輪廓儀采用全新的Mx(TM)軟件強化了整個系統(tǒng)的控制和分析,包括豐富的交互式3D圖像,定量的形貌信息,直觀的測量導航,以及嵌入的包含數(shù)據(jù)統(tǒng)計、控制圖表和通過/失敗限制的SPC。

? 交互式3D – 變倍,全景,旋轉(zhuǎn),以及實時的更新結(jié)果。

? 靈活的分析工具 – 包含大量的定量結(jié)果、數(shù)據(jù)視圖、濾波。

? 上等的分析工具 – 提供了用于數(shù)據(jù)調(diào)查、操作和測量對比的自由布局區(qū)域。

? 直觀的用戶界面 – 流程化的設計使軟件簡單易學,便于操作。

? 浮動的工具條 – 可自由設定,滿足您的工作流程。

針對特殊測試的需求,軟件有專門的應用模塊,比如透明薄膜的測量,以及2D可視化分析等,對于有需要的使用者,這些功能非常有幫助。

自動化操作

NexView輪廓儀是無需手動操作的,全部自動電動控制,因此能夠利用軟件進行多次序列化自動測量,可以對裝夾好的樣品進行程序化的自動測量,及對大樣品的快速拼接。

整潔,流線型,設計感

Nexview系列輪廓儀具有清晰的視野,開放的工作區(qū)域,使得測量安裝和更換樣品變得簡單而快速。它的全新、自動化,集成的200mm測量臺是整潔、有效的工業(yè)設計的縮影。它的大負載的可正負4度傾斜的樣品臺,使測量時的調(diào)校變得簡單,即使是對于毫無特征的表面也



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